-160℃ Cryo Cold
반도체 진공증착장비


  반도체 진공증착장비

본 초저온 냉각시스템은 당사만의 특수 혼합냉매와 안정적인 시스템이 결합된 장비로 냉각 및 제상 속도에서 최고 수준을 달성한 제품으로 국내외에서 그 성능을 인정받고 있으며 세계 각지로 수출하고 있는 제품입니다.


  반도체 진공증착장비 용도
◎ 기본용도

ㆍ증착장비의 고진공 작업을 포함한 각종 모든 고진공 코팅 작업에 사용됩니다. 


ㆍ본 제품을 사용함으로서 혁신적인 진공시간 단축과 함께 고속 진공 및 낮은 수분 분압 유지로 고품질의 진공 제품 생산을 가능하게 합니다. 특히 혁신적인 생산성 증대 효과를 기대할 수 있습니다.


ㆍCryo cold의 사용으로 고진공 장비내 제품 증착공정에서 뛰어난 접착성을 보이며, 수분 분압을 극히 낮게 유지하여 우수하고 선명한 색상 표현을 가능하게 합니다. 


ㆍ주 사용처는 반도체 LCD장비, SPUTTER장비, EMI코팅, 플라스틱 금속 코팅, 필름 증착을 포함한 각종 진공 증착장비, 연구실 장비 등 산업 전반에서 다양하게 사용되고 있습니다.

◎ 주요용도

  반도체 진공증착장비 적용시 특징과 전망 및 장점
◎ 적용시 특징과 전망

ㆍCompression ratio가 상대적으로 낮은 조건에서 가동하므로 기존 시스템과 비교하였을 경우 초기 운전시 고압의 압축조건이 발생되어 Oil의 탄화현상이 방지됩니다.  장기간 운전 시 Oil의 변색현상이 일어나지 않아 시스템의 장기간 지속운전 안정성을 확보합니다.


ㆍ당사만의 독자 개발된 환경친화적 냉매 및 시스템의 안정적 결합으로 단시간 내 초저온 온도를 달성합니다. 또한 이에 적합한 Heating Coil을 설치하여 Defrost시간을 단축함으로서 장비의 운용시간 단축 및 효율적인 운영으로 경제적 수익 극대화 효과를 창출하게 합니다. 


ㆍ당사에서 납품한 제품은 국내에서 4~5년간 A/S건이 거의 발생하지 않았으며, 안정적인 운영으로 고객들로부터 안정성과 신뢰성을 인정 받았습니다. 이에 일본의 진공장비업체에서 당사 제품의 우수성을 인정받아 현재 수출상담이 활발히 진행되고 있습니다.

◎ 반도체 진공증착장비 장점

진공시간 단축을 통한 혁신적인 생산 주기 단축


낮은 수분 분압 유지로 고품질 제품 생산 가능


최첨단 설계로 높은 안정성과 깔끔한 디자인 


특허 받은 당사만의 Oil Seperator시스템 


안정적인 온도 및 고속진공상태의 유지


 진공증착 시 선명하고, 탁월한 색상 표현 가능


검증된 안정성 및 신뢰성을 바탕으로 한 신속한 A/S


낮은 수분 분압 유지로 고품질 제품 생산 가능  


최첨단 설계로 높은 안정성과 깔끔한 디자인 


특허 받은 당사만의 Oil Seperator시스템 


안정적인 온도 및 고속진공상태의 유지


 진공증착 시 선명하고, 탁월한 색상 표현 가능


검증된 안정성 및 신뢰성을 바탕으로 한 신속한 A/S


  반도체 진공증착장비 제품사양
모델명
SCH-1100 / SC-1100
SCH-1500 / SC-1500
Dimensions(mm)
810 W x 710D x 1930H
810 W x 750D x 1930H
Power Supply(3ph voltage)
3Ø 380V
3Ø 380V
Compressor
50/60Hz
50/60Hz
Condenser Water
KW
11kw
15kw
water  ℓ/min
20ℓ/min
30ℓ/min
water temoerature / ℃
15℃ ~ 20℃
15℃ ~ 20℃
IN(mm)
25mm
25mm
OUT(mm)
25mm
25mm
Defrosting coil temperature (Hot Gas)
20℃ ~ 50℃
20℃ ~ 50℃
weight
-140℃ ~ -160℃
-140℃ ~ -160℃
Waste gas
450kg
500kg
Surface area
100,000 ℓ/sec
150,000 ℓ/sec
Cryo coil pipe size
10,000㎠ 
10,000㎠
Cryo coil pipe outsider length
mm
12.7mm
12.7mm
m
6m
6m


※ SCH - Cool, Defrost, stand-by
※ SCH - Cool전용


  반도체 진공증착장비 성능분석
◎ 냉동코일 배기 속도
냉동코일 표면 온도와 수증기의 분압
◎ Cool(Diffusion Pump) Temperature Graph
Diffusion Pump 배관 연결도
◎ Cool(Diffusion Pump) Temperature Graph
Diffusion Pump 배관 연결도

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